Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics - symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A
- Författare
- (Editors: Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi, Modest M. Oprysko.)
- Genre
- Konferenspublikation, Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Materials Research Society | cop. 1988 | USA, Pittsburgh, Pa | xv, 509 sidor. |